KYOWA 共和電業(yè)自上世紀(jì)五十年代完成日本首款自主應(yīng)變片研發(fā)后,長(zhǎng)期聚焦應(yīng)變傳感底層材料改良、微米級(jí)精密加工、溫度自補(bǔ)償、多層復(fù)合封裝、力學(xué)結(jié)構(gòu)仿真優(yōu)化等核心技術(shù)迭代。KFGS 系列作為品牌標(biāo)準(zhǔn)化通用箔式應(yīng)變片,廣泛應(yīng)用于工業(yè)構(gòu)件應(yīng)力檢測(cè)、材料力學(xué)試驗(yàn)、機(jī)械設(shè)備長(zhǎng)期載荷監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。KFGS-03-120-C1-11 是該系列經(jīng)典單軸測(cè)量型號(hào),型號(hào)編碼對(duì)應(yīng)完整技術(shù)參數(shù):03 代表 3 毫米敏感柵有效長(zhǎng)度,120 為行業(yè)通用標(biāo)稱電阻 120 歐姆,C1 代表標(biāo)準(zhǔn)單軸測(cè)量柵型,末尾數(shù)字 11 代表該應(yīng)變片匹配線膨脹系數(shù) 11×10??/℃的碳鋼、普通不銹鋼基材專屬溫度補(bǔ)償規(guī)格。這款應(yīng)變片依托材料提純蝕刻、超薄聚酰亞胺基底、SELCOM 溫度自補(bǔ)償、C1 柵型力學(xué)優(yōu)化、寬溫適配兼容、封裝防護(hù)六大核心技術(shù)體系,同時(shí)實(shí)現(xiàn)高精度信號(hào)轉(zhuǎn)換、寬溫度區(qū)間穩(wěn)定輸出、超長(zhǎng)交變疲勞壽命、極低蠕變誤差,下文對(duì)各項(xiàng)核心技術(shù)展開(kāi)完整拆解論述,全文約 2500 字。
一、高純度銅鎳合金箔敏感柵提純與微米蝕刻核心技術(shù)
敏感柵是應(yīng)變片實(shí)現(xiàn)機(jī)械形變向電信號(hào)轉(zhuǎn)換的核心功能層,KFGS-03-120-C1-11 選用共和自主調(diào)配的高純銅鎳合金箔作為電阻傳感載體,材料配方與精密蝕刻工藝構(gòu)成產(chǎn)品基礎(chǔ)核心競(jìng)爭(zhēng)力。
第一,高精度配比合金真空熔煉穩(wěn)定化技術(shù)。市面上普通工業(yè)銅鎳合金普遍存在金屬雜質(zhì)偏析、電阻溫度系數(shù)離散程度大的缺陷,溫度變化時(shí)極易產(chǎn)生大幅度零點(diǎn)漂移。共和采用真空密閉熔煉工藝,嚴(yán)格把控銅、鎳兩種金屬元素配比,同步過(guò)濾碳、硫、鐵等微量有害雜質(zhì),從源頭統(tǒng)一合金材料電學(xué)基礎(chǔ)性能。經(jīng)過(guò)多級(jí)冷軋與分段退火處理后的合金箔,應(yīng)變靈敏系數(shù)穩(wěn)定維持在 2.1,線性測(cè)量區(qū)間覆蓋 0 至 5% 極限應(yīng)變量,構(gòu)件拉伸與壓縮形變過(guò)程中,柵絲電阻變化率和實(shí)際應(yīng)變量保持高度線性對(duì)應(yīng)關(guān)系,形變往復(fù)循環(huán)產(chǎn)生的遲滯誤差被控制在極低水平,完全適配鋼材彈性形變區(qū)間內(nèi)的靜態(tài)、動(dòng)態(tài)應(yīng)力測(cè)量工作。
第二,微米級(jí)光刻化學(xué)蝕刻成型工藝。傳統(tǒng)絲繞式應(yīng)變片依靠金屬絲纏繞成型,柵絲粗細(xì)、間距一致性差,測(cè)量干擾嚴(yán)重。箔式應(yīng)變片完整柵絲結(jié)構(gòu)依靠光刻蝕刻一次性成型,共和選用厚度僅數(shù)微米均質(zhì)超薄合金原箔,搭配高精度對(duì)位光學(xué)掩膜完成光刻曝光,完整復(fù)刻 3 毫米柵長(zhǎng)連續(xù)折返柵絲結(jié)構(gòu)。蝕刻工序采用分段梯度化學(xué)腐蝕方案,精準(zhǔn)管控柵絲寬度、柵絲間距、橫向輔助柵長(zhǎng)度比例,消除柵絲邊緣毛刺、局部厚度不均勻等加工缺陷。經(jīng)過(guò)精密蝕刻成型的敏感柵具備兩項(xiàng)關(guān)鍵優(yōu)勢(shì),一是橫向靈敏度極低,能夠大幅削弱垂直主應(yīng)力方向帶來(lái)的干擾應(yīng)變;二是柵絲整體一體成型,不存在分段焊接斷點(diǎn),在反復(fù)交變疲勞載荷作用下,不易出現(xiàn)柵絲局部斷裂、電阻緩慢漂移等故障。
第三,合金箔殘余應(yīng)力消除熱處理技術(shù)。金屬箔經(jīng)過(guò)軋制、蝕刻加工后,內(nèi)部會(huì)留存大量軋制殘余應(yīng)力,長(zhǎng)期使用過(guò)程中殘余應(yīng)力緩慢釋放,會(huì)造成應(yīng)變片基準(zhǔn)電阻持續(xù)偏移。共和配套專屬低溫真空退火工序,在不改變?cè)泻辖鸪煞峙浔鹊那疤嵯?,充分釋放箔材?nèi)部殘余應(yīng)力,統(tǒng)一單批次應(yīng)變片基準(zhǔn)電阻,120 歐姆標(biāo)稱電阻離散范圍控制在 ±0.5 歐姆以內(nèi)。批量應(yīng)變片阻值高度統(tǒng)一,多片組合搭建惠斯通電橋時(shí),無(wú)需額外單獨(dú)校準(zhǔn)電阻差值,有效簡(jiǎn)化現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試設(shè)備調(diào)試流程,降低人為調(diào)試帶來(lái)的系統(tǒng)測(cè)量誤差。
二、14 微米超薄改性聚酰亞胺基底傳力絕緣核心技術(shù)
基底作為中間載體,承擔(dān)敏感柵與被測(cè)金屬構(gòu)件之間形變傳遞、電氣絕緣雙重作用,基底材質(zhì)與復(fù)合工藝直接決定形變傳遞效率、絕緣穩(wěn)定性。KFGS 全系列統(tǒng)一采用 14 微米超薄改性聚酰亞胺樹(shù)脂基底,配套基底分子改性、真空高溫?zé)釅簭?fù)合兩大核心工藝。
第一,柔性改性聚酰亞胺分子結(jié)構(gòu)調(diào)控技術(shù)。常規(guī)純聚酰亞胺材料剛性較強(qiáng),貼合弧形構(gòu)件表面時(shí)容易出現(xiàn)基底分層、形變傳遞損耗過(guò)大問(wèn)題。共和在基礎(chǔ)聚酰亞胺樹(shù)脂中添加柔性改性單體,重新調(diào)整高分子鏈交聯(lián)結(jié)構(gòu),在保留高絕緣、耐高溫、耐化學(xué)腐蝕基礎(chǔ)特性的同時(shí),大幅提升基底彎曲適配能力,可緊密貼合曲率半徑十毫米以上各類金屬曲面,曲面應(yīng)力測(cè)量過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生形變滯后誤差。同時(shí)這款改性基底具備優(yōu)異防潮耐濕性能,室內(nèi)常規(guī)環(huán)境、野外短期露天測(cè)試場(chǎng)景下,無(wú)需額外涂刷防水防護(hù)涂層,基底吸水率極低,高濕度工況中絕緣電阻不會(huì)快速衰減,徹底杜絕漏電引發(fā)的測(cè)量零點(diǎn)持續(xù)漂移問(wèn)題。
第二,敏感柵與基底一體化真空熱壓復(fù)合工藝。市面上普通應(yīng)變片大多采用分次粘貼復(fù)合工藝,金屬柵絲與基底之間容易留存微小空氣夾層,構(gòu)件形變傳遞至敏感柵過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生明顯損耗,降低測(cè)量精度。共和采用高溫高壓真空熱壓一體化成型工藝,將蝕刻完成的銅鎳合金箔與液態(tài)聚酰亞胺基底同步成型,冷卻固化后柵絲與基底完全緊密貼合,無(wú)氣泡、分層、局部脫粘缺陷。該工藝實(shí)現(xiàn)被測(cè)構(gòu)件產(chǎn)生的機(jī)械形變,通過(guò)粘接層、基底完整無(wú)損耗傳導(dǎo)至敏感柵,力傳遞效率接近百分之百,從結(jié)構(gòu)層面消除形變傳遞損耗帶來(lái)的系統(tǒng)誤差。加之 14 微米超薄基底厚度極薄,不會(huì)形成剛性隔離層,不會(huì)阻礙微小應(yīng)變信號(hào)傳導(dǎo),特別適用于應(yīng)力集中微小區(qū)域的高精度應(yīng)力采集。
第三,基底對(duì)位標(biāo)識(shí)與邊緣鈍化優(yōu)化工藝。基底熱壓成型階段同步印制透明對(duì)位標(biāo)線,標(biāo)線與三毫米敏感柵中心軸線嚴(yán)格對(duì)齊,現(xiàn)場(chǎng)貼片作業(yè)時(shí)可通過(guò)肉眼直接校準(zhǔn)應(yīng)變片粘貼方向,保證柵絲軸線與構(gòu)件主應(yīng)力方向偏差控制在正負(fù)五度范圍內(nèi),大幅降低人工貼片操作不當(dāng)引發(fā)的方向測(cè)量誤差?;兹窟吘壊捎脠A角鈍化加工工藝,消除尖銳邊角結(jié)構(gòu),粘貼固化后不會(huì)因邊角應(yīng)力集中出現(xiàn)基底撕裂、邊緣翹邊問(wèn)題,有效提升應(yīng)變片長(zhǎng)期服役穩(wěn)定性。
三、SELCOM 自研溫度自補(bǔ)償核心技術(shù)(11# 碳鋼專用規(guī)格)
溫度漂移是應(yīng)變測(cè)量過(guò)程中最主要的系統(tǒng)誤差來(lái)源,溫度升降會(huì)產(chǎn)生虛假應(yīng)變,干擾真實(shí)應(yīng)力數(shù)據(jù)采集。KFGS-03-120-C1-11 搭載共和自研 SELCOM 溫度自補(bǔ)償核心技術(shù),型號(hào)末尾數(shù)字 11 代表這款應(yīng)變片專門針對(duì)線膨脹系數(shù) 11×10??/℃的普通碳鋼、不銹鋼完成補(bǔ)償優(yōu)化,單獨(dú)使用無(wú)需額外粘貼補(bǔ)償片,簡(jiǎn)化惠斯通電橋搭建流程。
從底層補(bǔ)償原理分析,溫度變化產(chǎn)生的虛假應(yīng)變由兩類因素疊加形成,一是敏感柵銅鎳合金自身電阻會(huì)隨溫度改變發(fā)生漂移;二是敏感柵金屬箔與被測(cè)鋼材熱膨脹系數(shù)不匹配,溫度升降時(shí)兩者伸縮量存在差值,會(huì)在柵絲內(nèi)部產(chǎn)生附加應(yīng)力,生成虛假應(yīng)變。共和通過(guò)雙向精準(zhǔn)抵消技術(shù)消除兩類溫漂誤差,一方面精準(zhǔn)調(diào)整銅鎳合金箔自身電阻溫度系數(shù),另一方面匹配碳鋼 11×10??/℃的熱膨脹系數(shù),通過(guò)精準(zhǔn)數(shù)值計(jì)算,讓兩類溫漂數(shù)值大小相等、變化方向相反,在標(biāo)準(zhǔn)補(bǔ)償溫度區(qū)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)相互抵消。
該型號(hào)標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)溫度補(bǔ)償區(qū)間為 10 攝氏度至 100 攝氏度,在此溫度范圍內(nèi),單位溫度變化產(chǎn)生的視在虛假應(yīng)變被控制在 ±1.8μm/m/℃以內(nèi),溫漂誤差遠(yuǎn)低于行業(yè)通用無(wú)自補(bǔ)償應(yīng)變片。在高低溫交變工況、設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間不間斷靜態(tài)載荷監(jiān)測(cè)場(chǎng)景下,測(cè)量零點(diǎn)漂移幅度極小,無(wú)需頻繁斷電重新校準(zhǔn)電橋平衡。同時(shí)這套 SELCOM 自補(bǔ)償技術(shù)具備基材適配專一性,11# 補(bǔ)償規(guī)格僅適配碳鋼、不銹鋼類基材,若混用熱膨脹系數(shù)差異較大的鋁、銅基材,會(huì)出現(xiàn)補(bǔ)償失效、溫漂數(shù)值急劇擴(kuò)大問(wèn)題,專一化設(shè)計(jì)能夠保障鋼材應(yīng)力測(cè)試數(shù)據(jù)長(zhǎng)期穩(wěn)定可靠。
四、C1 單軸柵型結(jié)構(gòu)力學(xué)優(yōu)化與低蠕變抑制核心技術(shù)
KFGS-03-120-C1-11 型號(hào)中 C1 是共和標(biāo)準(zhǔn)化單軸測(cè)量柵型,整套柵絲折返布局、焊盤加厚加強(qiáng)、橫向輔助補(bǔ)償柵結(jié)構(gòu)均經(jīng)過(guò)多輪有限元力學(xué)仿真迭代優(yōu)化,同時(shí)實(shí)現(xiàn)低蠕變、超長(zhǎng)交變疲勞壽命、低橫向靈敏度三項(xiàng)關(guān)鍵力學(xué)性能突破。
第一,低蠕變柵絲布局仿真優(yōu)化技術(shù)。蠕變誤差指應(yīng)變片長(zhǎng)期承受恒定靜態(tài)載荷時(shí),輸出應(yīng)變讀數(shù)會(huì)隨時(shí)間緩慢漂移,在橋梁、壓力容器、大型機(jī)械設(shè)備長(zhǎng)期靜載監(jiān)測(cè)場(chǎng)景中,蠕變是不可忽視的關(guān)鍵誤差來(lái)源。共和通過(guò)有限元力學(xué)仿真軟件,反復(fù)優(yōu)化三毫米柵長(zhǎng)折返柵絲的間距、彎折圓弧弧度,規(guī)避柵絲彎折位置出現(xiàn)局部應(yīng)力集中;同時(shí)搭配高穩(wěn)定銅鎳合金材料與一體化基底復(fù)合工藝,抑制柵絲、基底、粘接劑多層復(fù)合結(jié)構(gòu)之間的相對(duì)滑移形變。在鋼材彈性載荷區(qū)間內(nèi),長(zhǎng)時(shí)間恒定載荷作用下蠕變誤差被壓縮至可忽略級(jí)別,完美適配結(jié)構(gòu)靜力加載試驗(yàn)、工業(yè)設(shè)備長(zhǎng)期靜應(yīng)力在線監(jiān)測(cè)等工作場(chǎng)景。
第二,一體成型加厚焊盤與穩(wěn)定引線連接工藝。應(yīng)變片引線焊接點(diǎn)位是整體力學(xué)薄弱區(qū)域,反復(fù)交變疲勞載荷作用下,極易出現(xiàn)焊點(diǎn)開(kāi)裂、引線脫落故障。共和采用專利一體成型加厚焊盤工藝,在敏感柵兩端設(shè)計(jì)加寬加厚金屬焊區(qū),焊盤與測(cè)量柵絲通過(guò)蝕刻一次性成型,不存在二次焊接斷點(diǎn)。外部引出導(dǎo)線與金屬焊盤采用無(wú)鉛低溫錫焊工藝,焊點(diǎn)飽滿均勻,同時(shí)基底焊盤對(duì)應(yīng)區(qū)域增設(shè)加厚聚酰亞胺加強(qiáng)層,分散焊點(diǎn)位置受到的拉扯應(yīng)力。經(jīng)過(guò)結(jié)構(gòu)優(yōu)化后的應(yīng)變片,可承受 1.2×10?次正負(fù) 1500μm/m 交變疲勞載荷,全程無(wú)電阻漂移、無(wú)引線脫落,疲勞壽命達(dá)到行業(yè)高端水準(zhǔn),適配振動(dòng)電機(jī)、往復(fù)運(yùn)動(dòng)機(jī)械構(gòu)件的長(zhǎng)期動(dòng)態(tài)應(yīng)變測(cè)試。
第三,橫向輔助補(bǔ)償柵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)。單軸應(yīng)變測(cè)量?jī)H需要采集沿柵絲長(zhǎng)度方向的主應(yīng)變,垂直柵絲方向的橫向應(yīng)變會(huì)形成信號(hào)干擾,降低測(cè)量精準(zhǔn)度。C1 單軸柵型在主測(cè)量敏感柵兩端配套短橫向輔助補(bǔ)償柵,通過(guò)精準(zhǔn)配比橫向柵絲長(zhǎng)度、電阻占比,抵消橫向應(yīng)力帶來(lái)的柵絲電阻變化,成品橫向靈敏度低于 0.5%。在多向應(yīng)力疊加的復(fù)雜機(jī)械構(gòu)件表面開(kāi)展測(cè)量時(shí),能夠有效過(guò)濾垂直主應(yīng)力方向的干擾信號(hào),大幅提升單一方向應(yīng)變數(shù)據(jù)的測(cè)量精準(zhǔn)度。
五、寬溫域材料兼容與多工況封裝防護(hù)核心技術(shù)
依托基底、敏感柵合金材料優(yōu)異耐溫特性,搭配共和全系列專用粘接劑、多規(guī)格耐溫引出導(dǎo)線,KFGS-03-120-C1-11 構(gòu)建覆蓋零下 196 攝氏度超低溫至 150 攝氏度中高溫的寬溫域適配技術(shù)體系,滿足高低溫力學(xué)試驗(yàn)、深冷工業(yè)設(shè)備、中高溫運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)械等特殊工況應(yīng)力測(cè)量需求。
在粘接劑兼容適配層面,共和針對(duì)不同溫度區(qū)間自主研發(fā)配套專用膠水,應(yīng)變片基底、柵絲材料可完美適配全部型號(hào)。搭配 CC-33A 快干氰基丙烯酸酯膠,適用溫度區(qū)間零下 196 攝氏度至 120 攝氏度,兼顧液氮低溫沖擊力學(xué)試驗(yàn)與常規(guī)室溫快速貼片作業(yè);搭配 PC-600 耐高溫環(huán)氧樹(shù)脂膠,最高耐受 150 攝氏度持續(xù)高溫,同時(shí)兼容液氮深冷環(huán)境,適用于高低溫交變疲勞加載測(cè)試;搭配 EP-340 中溫環(huán)氧粘接膠,適用溫度范圍零下 55 攝氏度至 150 攝氏度,適合工業(yè)高溫設(shè)備長(zhǎng)期不間斷應(yīng)力在線監(jiān)測(cè)。各類專用粘接劑固化完成后,均可與改性聚酰亞胺基底緊密結(jié)合,不會(huì)出現(xiàn)高溫脫膠、低溫基底脆裂問(wèn)題,粘接劑與基底熱膨脹系數(shù)相互匹配,溫度升降變化時(shí)粘接層不會(huì)產(chǎn)生附加應(yīng)力干擾真實(shí)應(yīng)變測(cè)量信號(hào)。
在引出導(dǎo)線適配與基礎(chǔ)封裝防護(hù)層面,該 C1 柵型出廠標(biāo)準(zhǔn)配套聚酯絕緣銅線,導(dǎo)線耐受溫度區(qū)間同樣覆蓋零下 196 攝氏度至 150 攝氏度,導(dǎo)線絕緣層與聚酰亞胺基底熱膨脹特性保持匹配,高低溫環(huán)境下導(dǎo)線絕緣層不會(huì)收縮開(kāi)裂,杜絕導(dǎo)線短路、漏電故障。同時(shí)支持按需更換乙烯平行軟線、中高溫專用耐溫導(dǎo)線,適配室內(nèi)常溫實(shí)驗(yàn)室、戶外露天設(shè)備、高低溫試驗(yàn)箱等各類測(cè)試環(huán)境。120 歐姆標(biāo)準(zhǔn)基準(zhǔn)電阻設(shè)計(jì),能夠降低長(zhǎng)距離引線自身電阻對(duì)惠斯通電橋平衡狀態(tài)造成的干擾,無(wú)需搭建復(fù)雜導(dǎo)線補(bǔ)償電路,簡(jiǎn)化現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試系統(tǒng)布線與調(diào)試工作?;A(chǔ)封裝層面,應(yīng)變片表層預(yù)留均勻平整聚酰亞胺防護(hù)薄層,可隔絕空氣內(nèi)水汽、輕微油污腐蝕敏感柵,常規(guī)室內(nèi)工況下無(wú)需額外涂抹防護(hù)膏,降低現(xiàn)場(chǎng)貼片操作步驟,提升測(cè)試工作效率。
日本 KYOWA 共和 KFGS-03-120-C1-11 通用箔式應(yīng)變片所有核心技術(shù)圍繞高精度、高穩(wěn)定、長(zhǎng)壽命三大核心目標(biāo)搭建,從底層傳感合金材料提純、微米級(jí)精密蝕刻加工,到超薄柔性聚酰亞胺基底一體化復(fù)合,再到專屬鋼材匹配 SELCOM 溫度自補(bǔ)償、C1 柵型力學(xué)仿真優(yōu)化、全溫域粘接與導(dǎo)線兼容體系,形成完整閉環(huán)技術(shù)鏈條。各項(xiàng)技術(shù)相互配合,有效解決常規(guī)應(yīng)變片普遍存在的溫漂過(guò)大、蠕變明顯、疲勞壽命短、橫向干擾嚴(yán)重、形變傳遞損耗高等行業(yè)痛點(diǎn)。該型號(hào)作為碳鋼構(gòu)件應(yīng)力測(cè)量專用自補(bǔ)償箔式應(yīng)變片,既可以滿足實(shí)驗(yàn)室材料靜態(tài)、動(dòng)態(tài)力學(xué)試驗(yàn)高精度測(cè)量需求,也能夠適配工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)各類機(jī)械設(shè)備、鋼結(jié)構(gòu)構(gòu)件長(zhǎng)期在線載荷監(jiān)測(cè),是通用型應(yīng)力傳感領(lǐng)域技術(shù)成熟度、綜合穩(wěn)定性都處于上游水平的標(biāo)準(zhǔn)化傳感元件。